年度 2015
論文名稱 邱俊誠、洪振鈞、謝禮忠、蔡櫂隆、侯冠州、張志瑋,“利用CMOS MEMS及後製程製作之靜電式低電壓驅動光相位調制器陣列”,第十三屆奈米工程暨微系統技術研討會,2009年7月9-10日,新竹。
發表日期 2015-06-12