Seiji Samukawa
Chair Professor
Name Seiji Samukawa
Job title Chair Professor
Research expertise タイムモジュレーションプラズマによる負イオンの生成と高反応・ダメージフリーエッチング技術(超LSI) UHF帯(500MHｚ)による次世代大口径プラズマ源の開発と高精度エッチング技術(超LSI、ディスプレイ) ガス分子構造設計による選択ラジカル生成法(地球温暖化にも対応) UHFプラズマによる微結晶シリコン薄膜の生成(太陽電池、TFF)