Seiji Samukawa
讲座教授
姓名 Seiji Samukawa
职称 讲座教授
研究专长 タイムモジュレーションプラズマによる负イオンの生成と高反応・ダメージフリーエッチング技术(超LSI) UHF帯(500MHz)による次世代大口径プラズマ源の开発と高精度エッチング技术(超LSI、ディスプレイ) ガス分子构造设计による选択ラジカル生成法(地球温暖化にも対応) UHFプラズマによる微结晶シリコン薄膜の生成(太阳电池、TFF)